超純水設(shè)備中微生物生成迅速，一旦膜表面出現(xiàn)細菌群落，很快會生成粘泥膜，造成系統(tǒng)進水壓力升高、壓差增大、產(chǎn)水量降低。一般膜污染較嚴重，膜面及流道污染會同時發(fā)生。

常規(guī)的殺菌方法包括加氯或次氯酸鹽、臭氧、紫外線殺菌器等。也可利用DBNPA或異噻磋啉酮等非氧化性殺菌劑對超純水設(shè)備進行沖擊式殺菌。當設(shè)備發(fā)生微生物污染后，要及時進行殺菌以及化學(xué)清洗，防止微生物大量繁殖。為防止微生物產(chǎn)生抗藥性，要不定期改變殺菌劑種類以及殺菌方式。

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