在集成電路生產(chǎn)過程中如果用水點(diǎn)存在雜質(zhì)會給器件帶來一系列不利影響。所以為了確保產(chǎn)品質(zhì)量，必須采用超純水系統(tǒng)并結(jié)合該產(chǎn)品的生產(chǎn)特點(diǎn)及用水標(biāo)準(zhǔn)采用相適應(yīng)的純水制取工藝。

集成電路工廠純水制備系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)及工藝生產(chǎn)設(shè)備要求的超純水水質(zhì)來確定，一般由下列4部分組成：預(yù)處理系統(tǒng)、一次純水處理系統(tǒng)、超純水制取系統(tǒng)、回收水系統(tǒng)。

集成電路清洗超純水設(shè)備預(yù)處理重要性

預(yù)處理的目的是去除水中所含的懸浮物、膠體、高分子有機(jī)物等雜質(zhì)。需要指出的是，活性炭對去除TOC有非常好的效果，但它也往往成為微生物的滋生地。因此，在預(yù)處理系統(tǒng)中采用活性炭處理時，應(yīng)將活性炭過濾的進(jìn)水調(diào)成酸性，以防止微生物滋生。

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